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設(shè)備簡(jiǎn)介KC3111功率半導(dǎo)體高精度靜態(tài)特性測(cè)試系統(tǒng)（面向工廠生產(chǎn)端），基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規(guī)級(jí)模塊的新興要求而進(jìn)行的一次高標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品開發(fā)。脈沖信號(hào)源輸出方面，高壓源標(biāo)配2000V（選配3.5KV）,高流源標(biāo)配1KA（選配4KA多模塊并聯(lián)）,柵極電壓30V。采用多量程設(shè)計(jì)架構(gòu)，各量程下均可保證0.1%精度，具有uΩ級(jí)精確測(cè)量，pA 級(jí)漏電流測(cè)量能力。全自動(dòng)程控軟件，圖型化上位機(jī)操作界面。內(nèi)置開關(guān)切換矩陣保證測(cè)試效率。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)預(yù)留升級(jí)擴(kuò)展?jié)撃堋y(cè)試接口可外掛各類夾具和適配器，還能夠通過專用接口連接各種Handler：如分選機(jī)、機(jī)械手、探針臺(tái)、編帶機(jī)等。